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<title>Self-aligned gate</title>
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<h1 id="firstHeading" class="firstHeading mw-first-heading"><span class="mw-page-title-main">Self-aligned gate</span></h1>
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<p>Une <b>self-aligned gate</b> (qu'on pourrait traduire de l'anglais par « grille auto-alignée ») est un procédé de fabrication de transistor <a href="Transistor_%C3%A0_effet_de_champ_%C3%A0_grille_m%C3%A9tal-oxyde" title="Transistor à effet de champ à grille métal-oxyde">MOSFET</a> dans lequel la grille, en <a href="Silicium_polycristallin" title="Silicium polycristallin">silicium polycristallin</a> très <a href="Dopage_(semi-conducteur)" title="Dopage (semi-conducteur)">dopé</a>, est utilisée en tant que masque pour le dopage de la source et du drain qui l'entourent.
</p><p>Grâce à cette technique, le chevauchement de la grille avec les bords de la source et du drain est plus finement contrôlé, ce qui permet de mieux maîtriser les caractéristiques du transistor MOSFET obtenu et d'améliorer les performances du composant en réduisant ses <a href="Capacit%C3%A9_parasite" title="Capacité parasite">capacités parasites</a> C<sub>ds</sub> et C<sub>gs</sub>.
</p><p>La technique de <i>self-aligned gate</i> est née en 1966, et fut brevetée aux États-Unis en <time class="nowrap" datetime="1969-10" data-sort-value="1969-10">octobre 1969</time><sup id="cite_ref-Patent_1-0" class="reference"><a href="#cite_note-Patent-1"><span class="cite-bracket">[</span>1<span class="cite-bracket">]</span></a></sup>.
</p>
<div class="mw-heading mw-heading2"><h2 id="Références"><span id="R.C3.A9f.C3.A9rences"></span>Références</h2></div>
<div class="references-small decimal" style=""><div class="mw-references-wrap"><ol class="references">
<li id="cite_note-Patent-1"><span class="mw-cite-backlink"><a href="#cite_ref-Patent_1-0">↑</a> </span><span class="reference-text"><span class="citation patent" id="CITEREFKerwinKleinSarace2025"><a rel="nofollow" class="external text" href="https://worldwide.espacenet.com/textdoc?DB=EPODOC&IDX=US3475234">US 3475234</a>, Kerwin, Robert E.; Donald L. Klein & John C. Sarace, "Method for making MIS structures", published 28-10-1969, assigned to <a href="Bell_Labs" class="mw-redirect" title="Bell Labs">Bell Telephone Laboratories Inc.</a></span><span class="Z3988" title="ctx_ver=Z39.88-2004&rft_val_fmt=info%3Aofi%2Ffmt%3Akev%3Amtx%3Apatent&rft.number=3475234&rft.cc=US&rft.title=Method+for+making+MIS+structures&rft.inventor=Kerwin&rft.assignee=%5B%5BBell+Labs%7CBell+Telephone+Laboratories+Inc.%5D%5D&rft.pubdate=28-10-1969"><span style="display: none;"> </span></span></span>
</li>
</ol></div>
</div>
<div class="mw-heading mw-heading2"><h2 id="Voir_aussi">Voir aussi</h2></div>
<div class="mw-heading mw-heading3"><h3 id="Articles_connexes">Articles connexes</h3></div>
<ul><li><a href="Fabrication_des_dispositifs_%C3%A0_semi-conducteurs" title="Fabrication des dispositifs à semi-conducteurs">Fabrication des dispositifs à semi-conducteurs</a></li></ul>
<ul id="bandeau-portail" class="bandeau-portail"><li><span class="bandeau-portail-element"><span class="bandeau-portail-icone"><span class="noviewer skin-invert-image" typeof="mw:File"></span></span> <span class="bandeau-portail-texte">Portail de l’électricité et de l’électronique</span> </span></li> </ul></div><!--htdig_noindex--><div><div class="zim-footer">
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